测试
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设备名称 |
场发射扫描电子显微镜 |
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型号 |
Sigma 300 |
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制造商 |
德国蔡司 |
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配置与功能 |
1、配备有肖特基场发射电子枪，低电压下具有很高的图像分辨率，可观察样品的二次电子成像； 2、配备有背散射探头，可观察样品不同成分衬度； 3、配备EBIC模块； 4、光电附件可以实现光电联用操作，实现联合定位查找； 5、配备XFord能谱仪进行材料元素的成分分析。 |
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主要技术 指标 |
1、二次电子像分辨率：≤1.0nm@15kV，≤1.8nm@1kV； 2、电子束加速电压：0.02kV～30kV； 3、放大倍率：12～1000000倍； 4、能量分辨率：MnKa保证优于127eV，元素分析范围不小于B5～Cf98。 |
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设备联系人 |
陈兴、操焰、陈军飞 |
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联系方式 |
18955390311、17856695343、17856914601 |
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设备照片 |
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测试结果 展示 |
硅上金颗粒形貌，加速电压10kV，WD=8.0mm，50K倍照片 |