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加工

SM-200-SMD-200-HP-200 Cabinet 匀胶显影系统

文字:[大][中][小] 手机页面二维码 2021/10/19     浏览次数:    

设备名称

 匀胶显影系统

型号

 SM-200-SMD-200-HP-200 Cabinet

制造商

 瑞士SAWATEC AG

配置与功能

 1、热板配置HMDS功能;

 2、匀胶兼具胶泵自动涂胶和手动涂胶两种方式,二者可切换。在两种涂胶方式下可以选择动态滴胶和静态滴胶模式;

 3、匀胶机配置EBR正面清洗装置;

 4、显影液采用雾状喷液方式,压力罐供液,通过调节压力及喷液时间控制流量;

 5、显影工艺在显影腔室内完成,腔壁带有加热功能。


主要技术

指标

 1、涂胶台转速范围:0-6000rpm;

 2、涂胶均匀性:光刻胶膜厚均匀性≤±2%@1um(6英寸,去边3mm);

 3、热板温度最高250℃,温度精度≤±0.6℃;

 4、显影载片台转速范围:1-3000rpm,精度1rpm。

设备联系人

 陈兴、季亚军、陈军飞

联系方式

 18955390311、18297520541、17856914601

设备照片

 

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